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直线电机模组

平面空气轴承龙门架

主要特点
●由空气轴承技术驱动
●超平稳运动
●高速且速度波动小
●便于维扩
●出色的定位精度

应用
●适用于温度敏感应用
●玻璃板刻线
●玻璃基板曝露
●晶圆缺陷检测设备

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